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空氣過濾器典型使用場所分析
空氣過濾器典型使用場所分析
1 芯片廠
當今,半導體芯片廠對生產環境空氣潔凈程度挑剔,對空氣過濾器的要求也苛
刻。粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。
芯片廠用的高效過濾器和風機過濾單元(FFU)出廠前要經過掃描測試。芯片廠不認鈉焰法和DOP法的帳。芯片廠特別在意過濾器上可能的微量揮發元素。近幾年出現了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過濾材料,這種材料沒有揮發物,但它帶靜電,過濾后的空氣要進行電中和以消除離子,少了個隱患,多了個麻煩。
但當芯片的線寬小到0.5um時,人們發現空氣中的化學污染物成了影響成品率的主要危害,于是,后建的芯廠空調系統中普遍配置了化學過濾器。芯片廠說的化學過濾器就是活性炭過濾器,它的原理和制造工藝并不復雜。許多情況下,設計師和現場人員也說不清污染物的種類和濃度,因此,芯片廠用的化學過濾器應具有兩個特點:廣譜吸附性能、足夠多的吸附材料。如果能確定污染物種類,就可對吸附材料進行有針對性的化學處理,以增強對特定污染物的吸附能力。過濾器供應商有時還要提供相應的現場檢測服務,以幫助用戶確定化學過濾器的使用情況,這就要求供應商中有搞化學過濾的專家,并與權威實驗室有密切的關系。
半導體工業并非“無煙工業”,它也有環境問題。為降低環境風險,有些芯片廠的排風系統也裝有化學過濾器。
2 機場空調系統
飛機場是賓客對城市的第一印象,機場空調系統表明主人的實力和空調設計師的水
平。在發達大型機場的空調系統中,空氣過濾器常見配置為:
G4~F6預過濾器→活性炭過濾器→F7末端過濾器
F7過濾器(Ashhae Dust-spot 85%)是上檔次的公共場所中常見過濾器。經過F7過濾器后,空氣含塵濃度可以達到旅游景區的水平。標準中規定候機廳可吸入顆粒物的濃度上限為0.15mg/m3,這是從衛生角度考慮的低要求,機場室外空氣也比這個濃度低.設計中,機場空調考慮的是檔次,而不僅僅是衛生.
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