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1、潔凈室的發塵源
對于潔凈室的塵源，除了來自室外大氣的塵粒和進入潔凈室的人和物攜帶的灰塵之外，潔凈室內的發塵源主要來自于潔凈室內操作人員，潔凈室的圍護和潔凈室內生產工藝設備和生產過程的產塵。
①潔凈室內作業人員的產塵。作業人員的產塵與所穿的潔凈工作服的材料、型式、著裝情況和作業人員本身的動作有關。因此，潔凈室內的作業人員必須穿規定的工作服而且動作也要受到一定的限制。通常情況下，一般電子裝配工藝穿全身型潔凈工作服輕微動作時，人員的產塵量為3.5~5.0×105個/人·分（≥0.5?m）。是潔凈室內的主要的發塵源。
②潔凈室圍護和室內表面的產塵。隨著潔凈室裝修材料的發展，耐磨、抗靜電、少產塵的材料出現，潔凈室內建筑產塵量越來越小。一般認為潔凈室單位建筑面積產塵為3~5.0×104/m2·分（≥0.5?m）。可見10平方米建筑產塵只相當一個作業人員的產塵量。
③生產設備和生產過程的產塵：這一產塵量與設備和生產過程本身有直接關系。不同設備、不同生產工藝的產塵量差別極大。在日本的資料介紹，一臺電動機的產塵量大約為4.5~45×104個/臺·分（≥0.5?m）。

2、潔凈室的清掃
①人工擦拭法：即人用潔凈室專用擦布和純水對潔凈室的地、墻、頂以及家具和設備表面進行擦拭。這種清掃方法較為徹底。
②分散式真空吸塵法：一般此方法只適用于低級別（1000級、10000級、100,000級）亂流潔凈室。方法簡單、靈活、方便，每天下班后均可采用此方法清掃。但由于移動式真空吸塵器內的圓筒形高效過濾器的效率比較低（≥99.5%，≥0.5?m），因此不適用在高級別的潔凈室。一般情況500m2潔凈室可設兩臺吸塵器，每增加500m2增加一臺，多不超過10臺。凈化工程
③集中式真空吸塵法：集中式真空吸塵是一個由吸塵口、管網、集中吸塵泵、除塵器組成的系統。吸塵泵和除塵器設在專門的機房內，因噪聲極大，機房不但要遠離廠房和辦公區，而且還要適當地作隔聲消聲處理。吸塵泵應有備用不應少于2臺。系統的管道宜用無縫鋼管焊接聯接暗裝敷設。其彎頭曲率半徑為4~6d煨彎不得折皺，三通夾角要小于45?，不應有四通（可由2個三通組合），水平管道的坡度為3‰，坡向立管和吸塵點，拐彎處宜設清掃口。系統末端為吸塵口，平時有蓋密封，使用時開蓋插入吸塵軟管進行吸塵。一般吸塵軟管作用半徑為8米，每個系統同時工作的吸塵口為4~5個，每個吸塵口的風量為150m3/時。
 
集中式真空吸塵不會影響室內的潔凈度，因此，集中式真空吸塵方法多用在級別較高（100級、10級、1級），面積較大的潔凈室中。
潔凈室的清掃制度在一般情況下，每班（每天）小清掃一次；每周中清掃一次，每月大清掃一次。并且要設專人負責管理、監督和檢查。還要有一定的培訓制度。

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